- 産(chǎn)品簡介
北玻鍍膜水平式建築鍍膜線(xiàn)，采用(yòng)磁控濺射沉積技(jì )術，在玻璃表面沉積一系列介質(zhì)和金屬薄膜，主要用(yòng)于加工(gōng)各種low-E玻璃、AR膜，以及陽光控制玻璃等。
設備特點：
1. 濺射室由一系列結構相同的795mm井位單元構成
2. 泵井位采用(yòng)獨特的氣體(tǐ)隔離裝(zhuāng)置
3. 應用(yòng)新(xīn)一代以鋁型材為(wèi)支撐結構的可(kě)調式磁棒
4. 設計5-9段輔助工(gōng)藝氣體(tǐ)分(fēn)配系統，每一段可(kě)以選擇不同類型的氣體(tǐ)
5. 采用(yòng)伺服電(diàn)機控制，實現傳輸的高精(jīng)度控制。
6. 不斷縮小(xiǎo)進/出口室腔體(tǐ)體(tǐ)積，提高節拍，降低成本
7. 工(gōng)藝氣體(tǐ)分(fēn)配系統集成在陰極蓋闆上
8. 每一個陰極單元都配有(yǒu)獨立的控制系統
9. 前後室采用(yòng)整體(tǐ)式蓋闆設計，可(kě)實現機械提升和液壓提升
10. 鍍膜區(qū)采用(yòng)磁懸浮分(fēn)子泵和幹泵
技(jì )術參數：
SE2540H系列
SE3300H系列
基片
浮法玻璃，鋼化玻璃，夾膠玻璃等
基片尺寸
Max. 2540×3660mm（可(kě)定制）
Max. 3300×6000mm（可(kě)定制）
基片厚度
3-19mm（可(kě)定制）
機械節拍
> 20s
>30s
極限真空
< 2E-6mbar
有(yǒu)效運行時間
>95%
膜層均勻性
≤±1.0%
