産(chǎn)品解決方案
北玻鍍膜水平式建築鍍膜線(xiàn)，采用(yòng)磁控濺射沉積技(jì )術，在玻璃表面沉積一系列介質(zhì)和金屬薄膜，主要用(yòng)于加工(gōng)各種low-E玻璃、AR膜，以及陽光控制玻璃等。
技(jì )術參數
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SE2540H系列 |
SE3300H系列 |
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基片 |
浮法玻璃，鋼化玻璃，夾膠玻璃等 |
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基片尺寸 |
Max. 2540×3660mm（可(kě)定制） |
Max. 3300×6000mm（可(kě)定制） |
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基片厚度 |
3-19mm（可(kě)定制） |
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機械節拍 |
> 20s |
> 30s |
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極限真空 |
< 2E-6mbar |
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有(yǒu)效運行時間 |
> 95% |
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膜層均勻性 |
≤±1.0% |
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設備特點：
1. 濺射室由一系列結構相同的795mm井位單元構成
2. 泵井位采用(yòng)獨特的氣體(tǐ)隔離裝(zhuāng)置
3. 應用(yòng)新(xīn)一代以鋁型材為(wèi)支撐結構的可(kě)調式磁棒
4. 設計5-9段輔助工(gōng)藝氣體(tǐ)分(fēn)配系統，每一段可(kě)以選擇不同類型的氣體(tǐ)
5. 采用(yòng)伺服電(diàn)機控制，實現傳輸的高精(jīng)度控制。
6. 不斷縮小(xiǎo)進/出口室腔體(tǐ)體(tǐ)積，提高節拍，降低成本
7. 工(gōng)藝氣體(tǐ)分(fēn)配系統集成在陰極蓋闆上
8. 每一個陰極單元都配有(yǒu)獨立的控制系統
9. 前後室采用(yòng)整體(tǐ)式蓋闆設計，可(kě)實現機械提升和液壓提升
10. 鍍膜區(qū)采用(yòng)磁懸浮分(fēn)子泵和幹泵
