産(chǎn)品解決方案
特點:
1. 采用(yòng)全封閉式鋁型材結構,将磁鐵及磁轭部分(fēn)完全與靶筒内的冷卻水分(fēn)隔開,避免因長(cháng)期浸水腐蝕引起的磁場變化
2. 型材式結構大幅加強了磁鋼的剛性,避免磁鋼變形與靶筒發生摩擦産(chǎn)生的磁場變化
3. 磁場調整結構采用(yòng)螺紋式設計,使得磁場均勻性的調整更加精(jīng)密
4. 出水孔的獨特設計使冷卻水有(yǒu)效冷卻濺射靶材的高溫區(qū),冷卻效果更佳
5. 安(ān)裝(zhuāng)維護簡易方便
類型 參數 |
MB3300 |
MB2540 |
MB1400 |
磁棒長(cháng)度(mm) |
3850 |
3192 |
1920 |
表面磁場強度 |
>550GS |
||
磁場均勻性 |
≤±1.0% |
||
磁場可(kě)調範圍 |
≤±25% |