中(zhōng)文(wén) ENG
首頁(yè) > 産(chǎn)品解決方案

北玻鍍膜立式鍍膜線(xiàn),采用(yòng)磁控濺射沉積技(jì )術,在玻璃表面沉積透明導電(diàn)(TCO)薄膜(如ITO、AZO等),主要用(yòng)于加工(gōng)顯示用(yòng)鍍膜玻璃,如觸摸屏、手機屏、顯示屏等。


技(jì )術信息

基片尺寸
可(kě)定制
基片厚度
可(kě)定制
機械節拍
可(kě)定制
極限真空

< 2E-6mbar

基片加熱
Max.350℃
基片預處理(lǐ)
線(xiàn)性離子源
鍍膜技(jì )術
直流平面陰極、中(zhōng)頻旋轉陰極


設備特點:

1. 顆粒物(wù)污染小(xiǎo)

2. 占地面積小(xiǎo)

3. 工(gōng)藝氣氛可(kě)調節

4. 多(duō)段加熱,溫度更均勻

5. 換靶及維護便捷

6. 多(duō)腔體(tǐ)模塊化設計