産(chǎn)品解決方案
北玻鍍膜立式鍍膜線(xiàn),采用(yòng)磁控濺射沉積技(jì )術,在玻璃表面沉積透明導電(diàn)(TCO)薄膜(如ITO、AZO等),主要用(yòng)于加工(gōng)顯示用(yòng)鍍膜玻璃,如觸摸屏、手機屏、顯示屏等。
技(jì )術信息
基片尺寸 |
可(kě)定制 |
基片厚度 |
可(kě)定制 |
機械節拍 |
可(kě)定制 |
極限真空 |
< 2E-6mbar |
基片加熱 |
Max.350℃ |
基片預處理(lǐ) |
線(xiàn)性離子源 |
鍍膜技(jì )術 |
直流平面陰極、中(zhōng)頻旋轉陰極 |
設備特點:
1. 顆粒物(wù)污染小(xiǎo)
2. 占地面積小(xiǎo)
3. 工(gōng)藝氣氛可(kě)調節
4. 多(duō)段加熱,溫度更均勻
5. 換靶及維護便捷
6. 多(duō)腔體(tǐ)模塊化設計